本產(chǎn)品為換能器式多離子規(guī)，可連接不同量程的探頭。
在一個(gè)將傳統(tǒng)方法的多種原理結(jié)合在一個(gè)外殼中的復(fù)雜真空計(jì)中，如果一個(gè)探頭失效，則需要更換所有探頭，探頭復(fù)雜且容易出現(xiàn)故障，我們經(jīng)常聽(tīng)到客戶說(shuō)“它很貴”。
采用這種方法，可以進(jìn)行寬帶測(cè)量，同時(shí)運(yùn)行成本大大降低，環(huán)境負(fù)荷小。
GMi系列的特點(diǎn)
廣域測(cè)量
可測(cè)量從大氣壓到高真空范圍（105 至 5×10-8 Pa）（同時(shí)使用 GPM 和 GAM 時(shí)）
可以連接具有不同測(cè)量范圍的觸點(diǎn)
采用多離子規(guī)，可以根據(jù)應(yīng)用選擇觸針。
精確的大氣壓力測(cè)量
輕松準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓（使用 GAM 時(shí)）
支持低環(huán)境影響
由于可以根據(jù)需要更換觸筆，因此可以降低運(yùn)行成本。
提高知名度
配備 LED 以檢查異常情況
可維護(hù)性
易于更換手寫(xiě)筆
各模式規(guī)格（組合模式）
GMi + GPM（離子規(guī)+皮拉尼規(guī)）
GMi + GPM + GAM（離子規(guī)+皮拉尼規(guī)+大氣壓力傳感器）
測(cè)量值輸出信號(hào)
壓力為0～10V輸出（Log輸出）
控制輸出信號(hào)
三個(gè)設(shè)定點(diǎn)輸出是可能的 (GMi-1)
串口通訊規(guī)范
可進(jìn)行RS232C/RS485通訊（GMi-2）
符合標(biāo)準(zhǔn)
符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)
用法
用于太陽(yáng)能電池、FPD、半導(dǎo)體、電子元器件等各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的過(guò)程控制
在線型、單晶圓型等具有多個(gè)工藝室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域極限壓力的確認(rèn)
高真空/超高真空設(shè)備的壓力測(cè)量
規(guī)格：
型號(hào) GMi-1 GMi-2
規(guī)格 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 串行通信規(guī)格
自適應(yīng)多離子規(guī)傳感器 M34 (NW16)、M35 (NW25)
可連接傳感器多離子規(guī)傳感器：1
皮拉尼壓力計(jì) GPM：1 件（可選）
大氣壓力傳感器GAM：1個(gè)（選配）
采樣時(shí)間 70 ms 4次移動(dòng)平均處理
測(cè)量值輸出 輸出電壓 DC 0 至 10 V，Log 輸出 0.75 V / 1 位
壓力換算公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P - 2) P = 10^{ ( V - 7.25 ) / 0.75 + 2 }
* 也可用作設(shè)定點(diǎn)調(diào)整的輸出電源（僅限 GMi-1）
更新時(shí)間 50 毫秒
控制輸入信號(hào) FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
以集電極開(kāi)路輸入、負(fù)邏輯運(yùn)行
* FIL ON / OFF 信號(hào)的使用因模式而異。
-
控制輸出信號(hào)傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定值 1 / 2 / 3
排放有效
燈絲功率監(jiān)控
額定值：24VMAX，50mAMAX，
飽和電壓 1 V -
串口通訊規(guī)范-RS232C/RS485
LED 顯示 POWER / ERROR：電源、錯(cuò)誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
FIL：發(fā)射有效 LED
SET1：設(shè)定點(diǎn) 1 LED
SET2：設(shè)定點(diǎn) 2 LED
SET3：設(shè)定值 3 LED -
發(fā)射電流 1 mA（1 × 10-3 Pa 或更?。?0 μA
DEGAS 電子轟擊 1 mA，330 V
傳感器耐壓 2×105 Pa（絕壓） *法蘭和卡箍的耐壓必須分別考慮。
傳感器內(nèi)部容積 34 cm3 (M34)
工作溫度范圍 10 至 50°C
工作濕度范圍 15 至 80%（無(wú)冷凝）
儲(chǔ)存溫度 -20 至 65°C（斷電時(shí)無(wú)結(jié)露）
IP防護(hù)等級(jí)IP30
電源電壓 20 至 28 VDC（紋波、噪聲 1% 或更少） 19 W 或更少（打開(kāi)電源時(shí)為 156 W）
輸入/輸出連接器 D-sub 15 針（M2.6 螺絲）
重量控制器：約 530 克，B-A 手寫(xiě)筆 (M34)：63 克
外形尺寸 W x D x H (mm) 144 x 75 x 62 或更小（控制器部分）
符合標(biāo)準(zhǔn) CE
電源/錯(cuò)誤選項(xiàng)：多離子規(guī)傳感器 M34 (NW16)、M35 (NW25)
材料：燈絲 1 lr / Y2O3 涂層，燈絲 2 W（鎢）
其他 PtCMo、SUS、W
皮拉尼真空計(jì) SPU
皮拉尼壓力傳感器 WP-16 (NW16)
材料：燈絲 Pt、其他 BS/Ni、電鍍、Ni、焊料
大氣壓力傳感器GAM（NW16）材質(zhì)：SUS316L
0.5 mm 用于單元電纜 GPM
0.5mm 用于 GAM
顯示單元1 CH：型號(hào)ISG1（使用DC 24 V電源）
4 CH：型號(hào)IM1R1（使用24VDC電源）
型號(hào) IM2R1（帶 AC 100 V 電源）
顯示電纜 GMi 和顯示單元之間的電纜
2m、5m、10m、15m
