本產(chǎn)品為皮拉尼真空計，可測量從大氣壓到5×10-2Pa的寬量程。

此外，該真空計取消了傳統(tǒng)控制器的操作和顯示部分，并將其縮小到最低限度的必要功能，從而實(shí)現(xiàn)了“降低成本”和“節(jié)省空間”。

GPW系列的特點(diǎn)

廣域測量：可進(jìn)行從大氣壓到5×10-2Pa的廣域測量。

減少布線：將傳感器和控制器集成在一起，減少布線，節(jié)省空間，節(jié)省電力。

提高可視性：配備用于檢查異常情況的 LED

可一鍵式調(diào)整：一鍵式即可進(jìn)行大氣壓調(diào)整和零點(diǎn)調(diào)整。

可維護(hù)性：易于更換測針

燈絲材料/鉑金（Pt）：燈絲材料采用耐腐蝕的鉑金。

測量值輸出信號：0 至 10 V 壓力日志輸出是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備

提高抗沖擊性：設(shè)計結(jié)構(gòu)具有高抗沖擊性

控制輸出信號：可輸出 2 個設(shè)定點(diǎn) (GPW-1)

串行通信規(guī)格：可進(jìn)行 RS-232C/RS-485 通信（僅限 GPW-2）

符合標(biāo)準(zhǔn)：CE標(biāo)準(zhǔn)兼容

用法

用于太陽能電池、FPD、半導(dǎo)體、電子元器件等各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制

用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制

用于在線型、單晶圓型等具有多個工藝室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制

型號 GPW-1 GPW-2

1個可連接手寫筆

自適應(yīng)探頭 SWP-16 (NW-16)

測量壓力范圍 5.0×10-2 至 1.0×105 Pa

測量精度* 1 × 10-1 至 1 × ×104Pa : ± 10 %

5.0×10-2～1.0×10-1Pa、1×104Pa～1×105Pa：±20%

重復(fù)性 1 × 10-1 Pa 至 1 × 104 Pa：± 2 %

采樣時間 50 ms 5次移動平均處理

測量值輸出 輸出電壓 DC 0 至 10 V

壓力指示（對數(shù)輸出）1.7 V 至 8.0 V，1 V/digit

更新時間 50ms

控制輸入信號 集電極開路輸入，負(fù)邏輯

ADJ調(diào)整（調(diào)零、大氣壓調(diào)整）-

控制輸出信號 集電極開路輸出

負(fù)邏輯 [額定值：30 VMAX、50 mAMAX、70 mW]

錯誤信號

設(shè)定點(diǎn) 1、2 -

設(shè)定點(diǎn)監(jiān)控 設(shè)定點(diǎn) 1、2：0 至 10 V 日志輸出 -

串口通訊規(guī)范-RS232C/RS485

LED 顯示 POWER / ERROR : 電源、錯誤 LED

SET-1：設(shè)定點(diǎn) 1 LED

SET-2：設(shè)定點(diǎn) 2 LED -

燈絲材質(zhì) 鉑金

工作溫度范圍 10 至 40°C

工作濕度范圍 15 至 80%（無冷凝）

IP 防護(hù)等級 IP30（傳感器單元）

安裝方向 無限制

電源電壓 DC 18 V 至 30 V，2 W（打開電源時為 4.8 W）

輸入/輸出連接器 D-sub 15 針（M2.6 螺絲）

重量 150 克（帶 SWP-16）

外形尺寸（電源）W×D×H(mm) 70×46×28

符合標(biāo)準(zhǔn) CE