日本芝浦 SHIBAURA 皮拉尼真空計(jì) GP-1
日期：2023-03-27 人氣：494 收藏
傳感器單元 GP-1 是皮拉尼真空計(jì)，可測(cè)量 3,000Pa 至 0.4Pa。
這種真空計(jì)通過(guò)從傳統(tǒng)控制器中去除操作和顯示部分并將其縮小到最低限度的必要功能，實(shí)現(xiàn)了“降低成本”和“節(jié)省空間”。
GP-1的特點(diǎn)
傳感器規(guī)格：不需要壓力指示器時(shí)
?降低真空計(jì)的成本
?節(jié)省控制面板周?chē)目臻g
?節(jié)省布線(xiàn)
ETC。
可維護(hù)性：易于更換測(cè)針
燈絲材質(zhì)：采用鉑金（Pt）
燈絲材料采用耐腐蝕鉑金。
可以使用手寫(xiě)筆 WP 系列：您一直在使用的手寫(xiě)筆可以按原樣使用。
控制輸出信號(hào)：可輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)
測(cè)量值輸出信號(hào)：0 至 5 V 壓力輸出（非線(xiàn)性輸出）
電源電壓：可使用DC24V輸入
用法
用于各種制造設(shè)備（包括半導(dǎo)體和電子元件）的低真空區(qū)域過(guò)程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過(guò)程控制
用于在線(xiàn)型、晶圓型等具有多個(gè)工藝室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的過(guò)程控制
類(lèi)型傳感器單元
型號(hào) GP-1
自適應(yīng)探頭 WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
測(cè)量壓力范圍 4.0×10-1～3.0×103Pa
測(cè)量精度 ± 15 %（51 Pa 至 760 Pa）
±30% (10Pa 至 1,000Pa)
±50% (0.4Pa 至 3,000Pa)
工作溫度范圍 10 至 40°C
采樣時(shí)間 50 ms 5次移動(dòng)平均處理
測(cè)量值輸出 非線(xiàn)性輸出：DC 0 至 5 V（最大 10 V）
更新時(shí)間 50ms
10 mV 分辨率
設(shè)定值 1/2 調(diào)整輸出 非線(xiàn)性輸出：0 至 5 V DC（最大 10 V）
控制輸出信號(hào) 集電極開(kāi)路，負(fù)邏輯
錯(cuò)誤信號(hào)
設(shè)定值 1/2
LED 顯示功率、錯(cuò)誤、設(shè)定點(diǎn) 1/2
電源 DC 24 V ± 2 V, 90 mA
輸入/輸出連接器 D-sub-15P（M2.6 螺絲）
機(jī)身質(zhì)量 190 克（不包括手寫(xiě)筆）
附件 輸入/輸出連接器 1套
使用說(shuō)明書(shū) 1份
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