日本堀場 HORIBA 氣體濃度監(jiān)測儀 IR-300系列
日期：2023-03-17 人氣：707 收藏
用于鼓泡供應(yīng)管線的在線氣體濃度監(jiān)測器。 用于穩(wěn)定供應(yīng)材料氣體。
MOCVD（有機(jī)金屬氣相沉積法）廣泛用于LED制造工藝和光學(xué)器件制造工藝。 該MOCVD儀器使用液體/固體材料，通常通過鼓泡方法作為汽化氣體供應(yīng)到腔室。 實時氣體濃度監(jiān)測對于在該材料供氣管線中實現(xiàn)穩(wěn)定的沉積過程非常重要。 IR-300系列氣體濃度監(jiān)測儀已引入MOCVD設(shè)備的物料供氣管線，可實現(xiàn)在線高速氣體濃度監(jiān)測。 我們支持材料氣體的穩(wěn)定供應(yīng)。
具體型號：
IR-312M
IR-314M
IR-315M
IR-322M
IR-324M
IR-322MB
IR-324MB
