特點(diǎn)：

• 雙組分同步監(jiān)測（SiF2、CF4） *僅限 IR-4 系列

• 高靈敏度

• 氣室加熱功能

• 模擬/數(shù)字通信

• 多顯示器

用于腔室清潔終點(diǎn)檢測的氣體監(jiān)測儀IR-422 IR-432

在半導(dǎo)體制造的成膜過程中，由于微細(xì)加工的進(jìn)步，為了提高生產(chǎn)率，在加工后始終保持腔室清潔非常重要。 IR-400 系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點(diǎn)檢測監(jiān)視器，可實(shí)時(shí)監(jiān)控廢氣成分（SiF4、CF4）。 它有助于優(yōu)化干洗終點(diǎn)檢測，減少清潔氣體消耗和時(shí)間，并減少腔室損壞，從而延長零件的使用壽命。