電容式壓力計“M-342DG”在壓力傳感器中使用小型硅MEMS芯片，將溫度、振動、氣壓波動等外部環(huán)境的影響降到很低，實現(xiàn)高精度和穩(wěn)定的壓力測量。實現(xiàn)最小化的隔膜真空計調(diào)零頻率。

特點：

準(zhǔn)確穩(wěn)定的壓力測量

?出色的零點穩(wěn)定性

?無需溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)，溫度依存性低，穩(wěn)定性優(yōu)異

?優(yōu)異的抗振動噪聲性能

緊湊和低功耗

?重量 200 克，尺寸 W46 mm × H49 mm × L106 mm，輕巧緊湊 (*1)

?消耗電力0.5W

用途：

支持廣泛的高精度、長期穩(wěn)定的真空壓力測量

半導(dǎo)體、顯示器、太陽能電池等各種真空器件。

?濺射、PECVD等真空蒸鍍工藝壓力的控制、監(jiān)視

?負(fù)載鎖定室的壓力控制、晶圓冷卻等氣體導(dǎo)入工序、系統(tǒng)壓力控制

醫(yī)療、生物、食品等各行業(yè)及各種研發(fā)應(yīng)用

各種鍍膜、等離子體處理、真空密封、真空爐、分析儀、滅菌、真空泵評價、分子蒸餾等。